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当前位置 -> 首页新闻资讯石英坩埚的特性(主要介绍热学性能和结晶性能) 发布时间:(2013/5/9)关键词:石英坩埚

石英坩埚的特性(主要介绍热学性能和结晶性能)

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石英坩埚的特性(主要介绍热学性能和结晶性能)
1. 热学性能:
  热学性能主要体现在以下几个方面

石英坩埚的形变点为1075℃
石英坩埚的软化点为1730℃
其最高连续使用温度为1100℃,短时间内为1450℃。
2. 结晶性能
(1) 石英坩埚在高温下具有趋向变成二氧化硅的晶体(方石英)。这个过程称为再结晶,也称为“失透”,通常也称为“析晶”。
(2) 析晶通常发生在石英坩埚的表层,按照中国石英玻璃行业标准规定,半导体工业用石英玻璃在1400℃±5℃下保温6小时,其析晶层的平均厚度应为﹤100µm 。


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